上海市“科技创新行动计划”集成电路领域项目申报

集成电路领域项目申报单位应当是注册在本市的独立法人单位，且具有组织项目实施的相应能力。项目负责人应当受聘于项目申报单位，受聘期覆盖项目实施周期。

一、项目名称

二、申报对象

集成电路领域项目申报单位应当是注册在本市的独立法人单位，且具有组织项目实施的相应能力。项目负责人应当受聘于项目申报单位，受聘期覆盖项目实施周期。

三、申报范围

专题一、关键核心产品技术攻关

方向1.集成电路制造装备、材料及零部件

研究目标：研制具有国际竞争力的重大集成电路装备及关键零部件产品，突破和掌握集成电路制造高端装备系统设计、集成和应用关键技术，持续提升集成电路高端装备的零部件配套能力。

研究内容：（1）集成电路高端装备用关键零部件研发、验证与应用。（2）面向集成电路领域激光隐性切割技术研究与工艺验证。（3）硅片晶圆标识技术研究与验证（4）高能离子注入机关键技术研究与样机验证。（5）10nm铜化学机械抛光液及14nm大马士革工艺光刻胶去除剂研发。

经费额度：本方向非定额资助。

申报主体资质条件：本市企业。企业投入研发经费与申请资助经费之比不低于2:1。

方向2.集成电路制造关键技术

研究目标：突破集成电路制造工艺模块开发和工艺整合关键瓶颈，掌握具有自主知识产权的工艺技术，支撑先进工艺生产线建设和量产能力提升。

研究内容：大面阵、高动态CMOS图像传感器工艺研发提升。

经费额度：本方向非定额资助。

申报主体资质条件：本市企业。企业投入研发经费与申请资助经费之比不低于2:1。

方向3.核心芯片器件、模块及其应用

研究目标：与汽车等优势产业和应用需求紧密结合，持续推动核心产品的产业链上下协同创新，突破芯片、模块自主设计、制造和应用关键技术。

研究内容：（1）750V/250A以上功率等级IGBT芯片、模块开发及新能源汽车示范应用。（2）高能氢注入沟槽场中止IGBT工艺开发。（3）碳化硅功率器件、光导开关器件研发和应用。（4）车规级集成电路芯片及相应传感器、控制器研发并小批量试装验证。（5）面向第四代PCIe通讯的超高速时序整合芯片研发与产业化。（6）汽车级EEPROM研发与应用。

经费额度：本方向非定额资助。

申报主体资质条件：本市企业。企业投入研发经费与申请资助经费之比不低于2:1。

专题二、前瞻和共性技术研究

方向1.集成电路前沿理论与技术

研究目标：面向高性能非易失存储与低功耗计算的基础问题，探索新材料、新结构和新原理，实现超高速低功耗非易失存储与计算，完成原型器件验证。

研究内容：研究非易失存储中的载流子微观输运机制，探索其在存算一体化和神经形态计算等方面的应用。

经费额度：本方向非定额资助

申报主体资质条件：本市独立法人单位。

方向2.集成电路新器件、新工艺、新方法研究

研究目标：面向未来电子学对更多功能集成智能微系统芯片的重大需求，突破材料级、器件级、系统级一体化微纳集成芯片技术，为下一代智能集成微系统芯片提供支撑。

研究内容：三维异质集成设计与制造关键技术研究及芯片验证。

经费额度：本方向非定额资助，每个研究内容支持不超过2项。

申报主体资质条件：本市独立法人单位。企业牵头项目企业投入研发经费与申请资助经费之比不低于1:1。

四、申报要求

除满足前述相应条件外,申请上海市“科技创新行动计划”集成电路领域项目，项目申报单位还须符合以下要求：

1.项目申报单位应当是注册在本市的独立法人单位；项目负责人应当受聘于项目申报单位，受聘期覆盖项目实施周期。

2.研究内容已经获得市级或区级财政资金支持的，不得重复申请财政资金支持。

3.作为项目负责人承担的市科委科技计划项目有2项及以上尚未验收的，不得再作为项目负责人申报。

4.项目申报单位、项目负责人和参与人应当符合科研诚信管理要求。项目申报单位应当对申报材料的真实性和完整性进行审核，不得含有涉密内容。

5.项目经费预算编制应当真实、合理，符合市科委科技计划项目经费管理的有关要求。

6.如要对评审专家提出回避申请的，项目申报单位应当在提交申报材料时，提出回避名单（不超过3人）及理由。

7.要求申报单位在申报的研究内容相关领域有较强的团队和技术基础。鼓励联盟、功能型平台组织产业链上下游联合申报。优先支持市区联动扶持项目。

五、申报时间

每年开展一次上海市“科技创新行动计划”集成电路领域项目申报工作，具体申报时间以通知为准。

六、评审方式

上海市科委对上海市“科技创新行动计划”集成电路领域项目申报材料进行形式审查，并组织评审工作，项目评审采用通讯评审方式，不安排答辩环节。

七、立项管理

项目申报单位收到立项通知后填报项目任务书，市科委与项目承担单位签订项目合同，项目任务书作为合同组成部分，需明确考核目标、考核指标、考核方式方法等要求。

八、项目验收

项目承担单位应当根据项目合同约定的目标和分工安排，履行责任和义务，按进度完成主要目标和任务。上海市“科技创新行动计划”集成电路领域项目承担单位应当在项目实施周期结束后，围绕项目任务完成情况和项目经费管理使用情况等撰写项目综合绩效自评价报告。项目承担单位应当在项目执行期结束后3个月内提交以下验收材料：

（一）项目验收申请；

（二）项目综合绩效自评价报告；

（三）合同约定提交的科技报告；

（四）会计师事务所出具的审计报告；

（五）项目承担单位认为需要补充的说明材料。

九、支持方式

上海市“科技创新行动计划”集成电路领域项目支持专项资金主要采用无偿资助的支持方式。专项资金必须专款专用，严禁截留、挪用。对弄虚作假、截留、挪用等违反国家法律法规的行为，将按照相关法律法规进行处理，并按照规定收回已拨付的专项资金。

十、监督与评估

加强上海市“科技创新行动计划”集成电路领域项目实施监督，对监督中发现的违规行为，予以以下处理：

（一）对有违规行为的项目管理相关机构，予以约谈、通报批评、解除委托协议、阶段性或永久性取消项目管理资格等处理；

（二）对有违规行为的咨询评审专家，予以警告、通报批评、阶段性或永久性取消咨询评审和申报参与项目资格等处理；

（三）对有违规行为的项目承担单位和科研人员，予以约谈、通报批评、暂停项目拨款、追回已拨项目资金、终止项目、阶段性或永久性取消申报参与项目资格等处理。